ICS01.040.13;13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 6:Vocabulary (ISO14644-6:2007,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007 目 次 前言 引言 IV 1范围 2术语和定义 参考文献 17 索引 18

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