GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

ICS 13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration （ISO14644-10:2013,IDT） 2021-08-20发布 2022-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013 目次前言引言 IV 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4 分级 5化学污染的表面洁净度检测/测量、监测及符合性证明附录A（资料性）表面化学物各种浓度的换算附录B（资料性）影响测试与结果的因素 12 附录C（资料性）洁净度评定的基本要素 13 附录D（资料性）按化学物浓度测试表面洁净度的方法 14 附录E（资料性）测试报告 23 参考文献 24

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