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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122939343.2 (22)申请日 2021.11.28 (73)专利权人 无锡信欧光电科技有限公司 地址 214213 江苏省无锡市宜兴经济开发 区 (72)发明人 杨向通 冯鹰 (51)Int.Cl. F16M 11/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种柔性铰链导向的二维纳米位移台 (57)摘要 本实用新型公开了一种柔性铰链导向的二 维纳米位移台, 涉及位移台技术领域, 解决了现 有的位移台的其中一套驱动机构始终会跟随位 移台进行移动, 增大了位移台的移动负载, 且容 易因为位移台的移动导致脱落虚接, 影 响位移台 的控制和使用精度的问题, 包括位移组件, 所述 从动定位块插接在工作台的内部。 该装置在使用 时, 两组驱动组件均固定位置不会跟随位移台的 移动而移动, 降低了位移台在移动时得负载, 且 驱动组件与外部控制单元的连接更为稳定, 不会 出现脱落虚接的现象, 稳定灵活, 操作精度高, 使 用方便。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216813505 U 2022.06.24 CN 216813505 U 1.一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 包括工作台(1); 所述工作台(1) 固定安装在工作平台的顶部; 位移组件(2), 所述位移组件(2)包括有从动定位块(201)和主 动定位块(202), 所述从动定位块(201)插接在工作台(1)的内部, 且主动定位块(202)插接 在工作台(1)的内部; 驱动组件(3), 驱动组件(3)包括有位移电机(301)和驱动 杆(302), 所 述位移电机(301)固定安装在工作台(1)的侧面, 且驱动杆(302)转动连接在工作台(1)的内 部; 位移台(4), 所述 位移台(4)插接在主动定位 块(202)的内部 。 2.如权利要求1所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 所述从动定位 块(201)和主动定位块(202)交叉安装在工作台(1)的内部, 且从动定位块(201)和主动定位 块(202)之间夹角的角度为九十度。 3.如权利要求1所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 所述从动定位 块(201)的在工作台(1)内的安装高度高于主动定位 块(202)在工作台(1)内部的安装高度。 4.如权利要求1所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 所述从动定位 块(201)的块体内部设有横向拨槽(2011), 且主动定位块(202)的内部设有纵向拨槽 (2021), 位移台(4)的底部设有位移块(401), 且位移块(401)的块体截面形状为 “T”形, 位移 块(401)的底部插接在纵向拨槽(2021)的内部, 且位移块(401)的顶部穿过横向拨槽(2011) 的内部。 5.如权利要求1所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 所述驱动组件 (3)设有两组, 且两组驱动组件(3)分别安装在工作台(1)位于从动定位块(201)和主动定位 块(202)的侧面。 6.如权利要求1所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 所述从动定位 块(201)和主动定位块(202)的两侧均设有轨道滑块(2022), 且工作台(1)的内部设有轨道 滑槽(101), 轨道 滑块(202 2)插接在轨道 滑槽(101)的内部 。 7.如权利要求5所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 每组所述驱动 组件(3)均 设有两个驱动 杆(302), 驱动 杆(302)的杆体外部设有螺纹, 且驱动 杆(302)通过 杆体螺纹拧接在位移组件(2)两侧的轨道 滑块(202 2)内部。 8.如权利要求5所述一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 其特征在于: 每组所述驱动 组件(3)的位移电机(301)通过柔性铰链与其中一个驱动杆(302)传动连接, 且每组驱动组 件(3)的两个驱动杆(3 02)之间通过同步带和同步轮传动连接 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216813505 U 2一种柔性 铰链导向的二维纳米位移台 技术领域 [0001]本实用新型属于位移台技术领域, 更具体地说, 特别涉及一种柔性铰链导向的二 维纳米位移台。 背景技术 [0002]柔性枢轴又称柔性铰链, 它是一种弹性支承, 与传统的支承比, 弹性支承具有无空 回、 无摩擦、 运行稳定等许多优点, 因此柔性铰链已经被广泛应用到二维纳米位移台领域 中。 [0003]现有的二维纳 米位移台设有两套驱动机构控制位移台的二维移动, 且其中一套 驱 动机构始终会跟随位移台进行移动, 增大了位移台的移动负载, 且跟随位移台移动的驱动 机构的连接装置很容易因为位移台的移动导致脱落虚接, 影响位移台的控制和使用精度, 实用性不高。 [0004]于是, 有鉴于此, 针对现有的结构及缺失予以研究改良, 提供一种柔性铰链导向的 二维纳米位移台, 以期达 到更具有更加实用价 值性的目的。 实用新型内容 [0005]为了解决上述技术问题, 本实用新型提供一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 以解决现有二维纳米位移台设有两套驱动机构, 且其中一套驱动机构会跟随位移台进 行移 动, 增大了位移台的移动负载, 且跟随位移台移动的驱动机构的连接装置很容易因为位移 台的移动导 致脱落虚接, 影响位移台的控制和使用精度, 实用性 不高的问题。 [0006]本实用新型柔性铰链导向的二维纳 米位移台的目的与功效, 由以下具体技术手段 所达成: [0007]一种柔性铰链导向的二维纳米位移台, 包括工作 台; 所述工作 台固定安装在工作 平台的顶部; 位移组件, 所述位移组件包括有从动定位块和主动定位块, 所述从动定位块插 接在工作台的内部, 且主动定位块插接在工作台的内部; 驱动组件, 驱动组件包括有位移电 机和驱动杆, 所述位移电机固定安装在工作台的侧面, 且驱动杆转动连接在工作台的内部; 位移台, 所述 位移台插接在主动定位 块的内部 。 [0008]进一步的, 所述从动定位块和主动定位块交叉安装在工作台的内部, 且从动定位 块和主动定位 块之间夹角的角度为九十度。 [0009]进一步的, 所述从动定位块的在工作台内 的安装高度高于主动定位块在工作台内 部的安装高度。 [0010]进一步的, 所述从动定位块的块体内部设有横向拨槽, 且主动定位块的内部设有 纵向拨槽, 位移 台的底部设有位移块, 且位移块的块体截面形状为 “T”形, 位移块的底部插 接在纵向拨槽的内部, 且位移块的顶部穿过横向拨槽的内部 。 [0011]进一步的, 所述驱动组件设有两组, 且两组驱动组件分别安装在工作 台位于从动 定位块和主动定位 块的侧面。说 明 书 1/4 页 3 CN 216813505 U 3
专利 一种柔性铰链导向的二维纳米位移台
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