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书 书 书犐犆犛 65 . 020 . 40 犆犆犛犅 61 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27犇犅 32 / 犜 4378 — 2022 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D、/G2E /G2F /G2D /G30 /G31 /G32 /G33 /G25 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E犖犪狀狅,狊狌犫犿犻犮狉狅狀狊犮犪犾犲犳犻犾犿狅狀狊狌犫狊狋狉犪狋犲—犖狅狀犱犲狊狋狉狌犮狋犻狏犲狋犲狊狋犿犲狋犺狅犱狅犳狊犺犲犲狋狉犲狊犻狊狋犪狀犮犲—犉狅狌狉狆狉狅犫犲犿犲狋犺狅犱20221023 /G3F /G4020221123 /G41 /G42/G21 /G22 /G23 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G49/G3F /G40/G4A /G4B /G26 /G27 /G4C /G4D /G4E /G4C /G4D 书 书 书/G21 /G22 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 GB / T1.1 — 2020 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D 1 /G2E /G2F : /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G38 /G39 /G3A /G21 /G22 /G23 /G30 /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 。 /G21 /G22 /G23 /G30 /G45 /G46 /G47 /G32 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G43 /G44 /G30 /G4D /G4E 。 /G21 /G22 /G23 /G4F /G50 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G56 /G57 /G26 /G27 /G28 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G5F /G60 /G61 。 /G21 /G22 /G23 /G34 /G35 /G62 /G63 : /G50 /G51 /G52 /G64 /G65 /G66 /G67 /G68 /G69 /G6A /G6B /G56 /G6C /G6D /G6E /G6F [ /G70 /G71 /G53 /G54 /G55 /G72 /G73 /G74 /G75 /G56 /G6C /G56 /G57 /G76 /G77 ( /G50 /G51 )]、 /G51 /G78 /G79 /G7A /G7B /G7C /G7D /G7E /G7F /G80 、 /G81 /G82 /G83 /G33 /G84 /G58 /G85 /G86 /G7D /G7E /G7F /G80 、 /G50 /G51 /G87 /G88 /G55 /G84 /G58 /G7D /G7E /G7F /G80 、 /G50 /G82 /G89 /G8A 、 /G8B /G8C /G87 /G8D /G56 /G57 /G58 /G59 /G7D /G7E /G7F /G80 、 /G76 /G70 /G8E /G8F /G89 /G8A 、 /G55 /G90 /G84 /G58 /G8B /G8C /G7D /G7E /G7F /G80 。 /G21 /G22 /G23 /G91 /G92 /G34 /G35 /G93 : /G94 /G88 /G95 、 /G96 /G97 /G98 、 /G99 /G9A /G9B 、 /G9C /G9D /G9E 、 /G9F /GA0 /GA1 、 /GA2 /GA3 、 /GA4 /GA5 、 /GA6 /GA7 /GA8 、 /GA9 /GAA /GAB 、 /GA9 /GAC /GAD 、 /GAE /G98 、 /GAF /GB0 、 /GB1 /GB2 /GB3 、 /G9F /GB4 、 /GB5 /GB6 /GB7 。 Ⅰ犇犅 32 / 犜 4378 — 2022 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 、 /G29 /G2A /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A 1 /G3B /G3C /G21 /G22 /G23 /G36 /G37 /GB8 /GB9 /GBA /G2B /G7B /GBB /GBC /GBD /GBE /GBF /GC0 /GC1 /GC2 /GC3 /GC4 /GC5 /GC6 、 /GC7 /GC8 /GC6 /GC9 /GCA /GCB /GCC /GCD /GCE /G7B /GCF /GD0 /GBD /GD1 /G8B /GD2 /G57 /GD3 /G30 /GCD /GD4 。 /G21 /G22 /G23 /GD5 /GBA /GD6 /GD7 /G57 /GD8 /GD9 /GDA /GC3 /GC4 /GDB /GDC /GC5 /GC6 、 /GC7 /GC8 /GC6 /GC9 /GCA /GCB /GCC /GDD /G73 /G30 /GCD /GCE /G7B /GCF /G57 /G37 , /GCD /GCE /G7B /GCF /G57 /GD3 /GDE /GDF /GE0 1×10 -4 Ω~ 1×10 4 Ω 。 2 /G3D /G3B /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /GE1 /GE2 /G22 /G23 /G76 /G30 /G3D /G3E /GE3 /GE4 /G22 /G76 /G30 /G36 /GDE /GE5 /GE6 /GBA /GE7 /G32 /GE8 /G21 /G22 /G23 /GE9 /G48 /G3F /GEA /G30 /GEB /GEC 。 /GED /G76 , /G39 /GEE /GEF /G30 /GE6 /GBA /G22 /G23 , /GF0 /GF1 /GEE /GEF /GF2 /GF3 /G30 /GF4 /G21 /GD5 /GBA /GD6 /G21 /G22 ; /G48 /G39 /GEE /GEF /G30 /GE6 /GBA /G22 /G23 , /GED /GF5 /GF6 /GF4 /G21 ( /GF7 /GF8 /GF9 /G7D /G30 /GFA /GFB /G62 ) /GD5 /GBA /GD6 /G21 /G22 /G23 。 GB / T1551 — 2021 /GFC /G62 /G79 /G7B /GCF /GFD /G57 /G37 /GFE /GFF /GD0 /GBD /GD1 /GD4 /G33 /GFE /G21 /G22 /GBD /GD1 GB / T14141 — 2009 /GFC /G23 /G24 /G25 、 /G26 /G27 /G25 /G33 /G28 /G7C /G39 /G29 /G25 /GCB /G25 /G7B /GCF /G30 /G57 /G37 /GFE /GFF /GD0 /GBD /GD1 GB / T14264 — 2009 /G2A /G2B /G2B /G2C /G2D /G59 /G2E GB / T33376 — 2016 /G2F /G8A /G30 /G40 /GCB /GCC /G59 /G2E /G42 /GED /G37 /G31 3 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /GE1 /GE2 /G59 /G2E /G33 /G37 /G31 /GD5 /GBA /GD6 /G21 /G22 /G23 。 3 . 1 /G2D /G2E 犳犻犾犿 /G32 /G33 /GCA /G34 /G35 /GCA /G36 /G37 /G38 /GCA /G39 /G3A , /G3F /G3B /G3A /G7E /G37 /GF5 /G89 /G38 /GCA /G30 /GCB /GE7 /GD8 /G30 /G3C /G73 。[ /G3D /G90 : GB/ T33376— 2016, 2.1.5, /G7D /GFA /GFB ] 3.2 /G37 /G38 /G39 犳狅狌狉狆狅犻狀狋狆狉狅犫犲 /G57 /G75 /G2C /G2D /G7B /GCF /GFD /G30 /G9D /G65 /G3E /GBD /GD1 /G3F /G40 / /GED /G76 /G9D /GF2 /GBD /GD1 /GBA /G3D /GE3 /GE4 /G21 /G41 /GDD /G73 /G30 /G7B /G21 , /G42 /G9D /GF2 /GBD /GD1 /G57 /G75 /G43 /G7B /G21 /GE6 /G34 /G30 /G7B /G44 /G45 。[ /G3D /G90 :GB/T14264—2009,3.97]3.3 /G2F /G30 /G31 /G32 狊犺犲犲狋狉犲狊犻狊狋犪狀犮犲犚s /G2A /G2B /G2B /G46 /GCB /G47 /G48
DB32-T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 江苏省
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